La WHS-T1-1201 est une station de transfert de plaquettes compacte de 300 mm, conçue pour permettre le déplacement sûr et efficace de plaquettes de silicium de haute valeur entre les FOUP semi-standard, les FOSB et les cassettes métalliques ouvertes de 300 mm. Conçu pour les opérations de semi-conducteurs de haute précision, le système est optimisé pour une utilisation en salle blanche, la sécurité de l’opérateur et la facilité d’intégration dans les flux de travail manuels existants.
Conçu pour être placé sur une table de salle blanche standard, le WHS-T1-1201 répond aux normes de hauteur de charge ergonomique SEMI S8. La platine rotative motorisée intégrée aligne le FOUP/FOSB dans l’orientation correcte pour le retrait de la porte à l’aide d’un outil d’ouverture manuel tel que le WHS-O5-FOUP. Une fois la porte retirée, la platine se repositionne automatiquement pour permettre un accès transparent au processus de transfert de plaquettes.
Au cœur du système se trouve un bras de transfert double en fibre de carbone équipé de tiges antistatiques à 25 positions, qui n’engagent doucement que l’arrière de chaque plaquette, éliminant ainsi le contact avec les glissières et minimisant le stress lors de la manipulation. L’outil est capable de transférer un FOUP ou un FOSB complet (25 plaquettes) en moins d’une minute avec une répétabilité élevée et un faible risque de génération de particules.
L’interface SafeGuard est dotée d’un panneau de commande à écran tactile et d’un système de tour d’éclairage, fournissant un retour d’information en temps réel et l’état du système pendant le fonctionnement. Plusieurs capteurs de sécurité sont intégrés dans l’outil pour détecter les défauts d’alignement, le mauvais placement de la cassette ou l’intrusion de l’opérateur, protégeant ainsi à la fois les plaquettes et l’utilisateur à tout moment.
Caractéristiques principales :
- Conçu spécifiquement pour les plaquettes de Si de 300 mm dans les FOUP, les FOSB et les cassettes métalliques (aluminium ou acier inoxydable)
- Les tiges de transfert antistatiques en fibre de carbone minimisent le contact avec l’arrière de la plaquette
- La platine rotative motorisée prend en charge le retrait manuel de la porte avec des outils tels que WHS-O5-FOUP
- Transfert de 25 plaquettes réalisé en moins d'1 minute
- Écran tactile et interface de mât d’éclairage pour une utilisation conviviale et une visibilité du processus
- Plusieurs capteurs de sécurité intégrés protègent les wafers et le personnel
- Hauteur de chargement ergonomique conforme à la norme SEMI S8
- Compatible avec les FOUP, les FOSB et les cassettes SEMI-standard
- Compatible avec les salles blanches ISO 3 (FS209E Classe 1)
- Fabriqué dans une usine certifiée ISO9001, certifiée CE
Le WHS-T1-1201 est l’outil idéal pour les applications de transfert de plaquettes où la précision, la sécurité et le débit sont essentiels, comblant le fossé entre le chargement manuel et l’automatisation complète avec une flexibilité et une fiabilité inégalées.
