Raffiner
Catégorie
Transfert manuel des plaquettes
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Transfert automatique des plaquettes
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Sécurisez le transfert des wafers
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Trieur de plaquettes
(1)
Matériel
Guides : Polyoxyméthylène antistatique /PEEK | Étage : Aluminium anodisé
Scène : Polyuréthane antistatique avec base en aluminium | Guides : Polyoxyméthylène antistatique / PEEK
Taille des plaquettes
100 mm (4")
150 mm (6")
200 mm (8")
300 mm (12")
76 mm (3")
Système
Système automatique
Slots
Jusqu’à 25
Matériau des tiges
Fibre de carbone antistatique
Désignation de salle blanche
ISO 3 (Classe 1 FS209E)

Sécurisez le transfert des wafers

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Transfert de plaquettes SafeGuard (WHS-T1)
WHS-T1
Sécurisez le transfert des wafers
WHS
Transfert de plaquettes SafeGuard (WHS-T1)
La série T1 LCT2 est un système de transfert automatique de plaquettes en vrac SafeGuard de pointe pour les plaquettes de 76 mm à 200 mm.
Voir le produit
5 Options :
Transfert de plaquettes SafeGuard (WHS-T1) 300 mm (12")Transfert de plaquettes SafeGuard (WHS-T1) 76 mm (3")Transfert de plaquettes SafeGuard (WHS-T1) 100 mm (4")
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