Applications
- Zone d’expédition/réception : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entrantes d’une cassette d’expédition à une cassette de production WIP.
- Zone épitaxiale : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entrantes d’une cassette d’expédition vers une cassette de production WIP ou de traitement EPI spécialisée.
- Zones de chimie humide : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entre une cassette de production WIP et une cassette en téflon PFA par voie humide lorsqu’elles entrent dans des zones de chimie humide.
- Zones de cuisson par processus thermique : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entre une cassette de production WIP et des cassettes en métal ou en quartz lorsqu’elles entrent dans les zones de processus de cuisson thermique.
- Zones de métrologie et d’inspection : Les transferts de plaquettes peuvent également avoir lieu dans les zones de métrologie et d’inspection où les plaquettes sont analysées et inspectées pour détecter les défauts et d’autres mesures de contrôle de la qualité.
- Sondes et zones d’essai : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entrantes d’une cassette d’expédition vers une cassette de production WIP.
- Lots pairs-impairs : Des transferts de plaquettes spécialisés sont utilisés pour diviser les lots parents en groupes impairs (13) et pairs (12). Diviser le lot parent en groupes pairs et impairs est une pratique courante dans la fabrication de semi-conducteurs qui contribue à garantir la qualité, la cohérence et l’efficacité dans le processus de production.
- Retournement/inversion de plaquettes : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes d’une cassette à une autre qui a été inversée à 180°. Dans la fabrication de semi-conducteurs, il existe divers processus qui impliquent de travailler à l’arrière d’une plaquette. Ces processus peuvent inclure la lithographie arrière, la gravure, le dépôt et le collage, entre autres. Pour effectuer ces processus, le fabricant doit retourner la plaquette de manière à ce que l’arrière soit vers le haut.
La série WHS-T1 SafeGuard est le système de transfert de plaquettes en vrac le plus avancé du marché, offrant une précision et une sécurité supérieures pour manipuler des plaquettes délicates. L’un des seuls systèmes spécifiquement conçus pour les transferts de plaquettes fines, il est très efficace pour transférer des plaquettes déformées ou courbées sans provoquer d’abrasion des bords ni de choc mécanique, assurant ainsi un rendement plus élevé et une réduction des défauts. L’empreinte compacte du système le rend idéal pour les environnements en salle blanche avec un espace limité, offrant à la fois performance et efficacité.
Le WHS-T1 est conçu pour des plaquettes de 76 mm à 200 mm, incluant des plaquettes composées InP, GaAs, GaN et SiC. Son bras de transfert motorisé à 25 jeux soulève doucement les plaquettes de la cassette, éliminant ainsi le besoin de plaquette coulissante dans une cassette ou le risque d’un positionnement fin sur un système de mouvement vertical. L’interface tactile et la tour d’éclairage du SafeGuard fournissent une communication en temps réel avec l’opérateur, indiquant l’état du système et l’avancement du transfert pour des opérations simplifiées.
Pour les applications de retournement/inversion de plaquettes, le WHS-T1 peut être spécialement commandé avec un étage qui supporte à la fois le chargement standard et inversé de la cassette, permettant de positionner la barre h « vers le haut » ou « vers le bas ». Cela permet aux opérateurs de transférer des plaquettes hors de la cassette, d’inverser manuellement la cassette et de renvoyer les plaquettes, ce qui le rend idéal pour le traitement backside.
Le WHS-T1 est compatible salle blanche ISO 3 (FS209E Classe 1) et conforme à SEMI, gérant à la fois des cassettes à profil haut et bas. Fabriqué dans une installation certifiée ISO9001 et certifié CE, le WHS-T1 est la solution la plus avancée et fiable de l’industrie pour les transferts de plaquettes en vrac dans des environnements de semi-conducteurs de haute précision.
