Raffiner
Catégorie
Choix de masque EUV
(1)
Pic de masque latéral
(1)
Pic de masque horizontal
(1)
Matériel
Polyoxyméthylène antistatique
Taille du masque
5x5x0.090
6x6x0.120
6x6x0.250
7x7x0.120
7x7x0.150
9x9x0.120
Maintien de la poignée
Poignée horizontale
Titulaire
Avec support
Manutention
Normalement fermé
Insert de préhension de matériau
Élastomère Viton
Désignation de salle blanche
ISO 3 (Classe 1 FS209E)

Pic de masque horizontal

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WHS-L2
Pic de masque horizontal
WHS
Crochet mécanique de manutention de masque décalé horizontal (WHS-L2)
WHS-L2 Serie MPH2 Un médiator mécanique normalement fermé (force constante) pour la manipulation de photomasques carrés de 5 » à 9 » du bord tangentiel au rouge
6 Options :
Crochet mécanique de manipulation de masque offset horizontal (WHS-L2) 5x5x0.090 Photomasques et réticulesCrochet mécanique de manipulation de masque horizontal décalé (WHS-L2) 6x6x0.120 Photomasques et réticulesCrochet mécanique de manipulation de masque offset horizontal (WHS-L2) 6x6x0.250 Photomasques et réticulesPlus...