Raffiner
Catégorie
Aligneur plat manuel
(2)
Aligneur plat automatique
(1)
Aligneur d’encoche manuel
(1)
Aligneur d’encoche automatique
(1)
Matériel
Polyoxyméthylène antistatique
Taille des plaquettes
150 mm (6")
200 mm (8")
Système
Système manuel
Slots
Jusqu’à 25
Jusqu’à 26
Matériau rouleau
EPDM antistatique
Précision d’alignement
Mieux que +/- 1°
Désignation de salle blanche
ISO 4 (Classe 10 FS209E)

Vecteurs d’encoche

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Aligneur d’encoche manuel (WHS-A4)
WHS-A4
Aligneur d’encoche manuel
WHS
Aligneur d’encoche manuel (WHS-A4)
L’aligneur d’encoche manuel de wafer A4 Serie NFEZ Advanced technology pour l’alignement haut/bas de wafers de 150 ou 200 mm.
Système manuel
Wafers pour cassettes à 25 emplacements
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2 Options :
Aligneur d’encoche manuel (WHS-A4) 150 mm (6")Aligneur d’encoche manuel (WHS-A4) 200 mm (8")