Raffiner
Catégorie
Matériel
Polyoxyméthylène antistatique
Taille des plaquettes
150 mm (6")
200 mm (8")
Système
Système automatique
Slots
Jusqu’à 25
Jusqu’à 26
Matériau rouleau
EPDM antistatique
Précision d’alignement
Mieux que +/- 1°
Désignation de salle blanche
ISO 3 (Classe 1 FS209E)

Aligneur d’encoche automatique

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WHS-A3
Aligneur d’encoche automatique
WHS
Aligneur d’encoche automatique (WHS-A3)
L’aligneur automatique d’encoches de wafers WHS-A3 Serie ANFEZ Advanced technology pour l’alignement de wafers d’encoche de 150 ou 200 mm.
Système automatique
Wafers pour cassettes à 25 emplacements
2 Options :
Aligneur d’encoche automatique (WHS-A3) 150 mm (6")Aligneur d’encoche automatique (WHS-A3) 200 mm (8")