Raffiner
Catégorie
Transfert manuel des plaquettes
(2)Transfert automatique des plaquettes
(1)Sécurisez le transfert des wafers
(1)Trieur de plaquettes
(1)Matériel
Effecteur final : Fibre de carbone antistatique
Taille des plaquettes
100 mm (4")
150 mm (6")
200 mm (8")
Double taille 150 + 200 mm (6 »- 8 »)
Système
Système automatique
Slots
Jusqu’à 26
Désignation de salle blanche
ISO 3 (Classe 1 FS209E)
Trieur de plaquettes
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Transferts et trieurs
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WHS-T4
Trieur de plaquettes
WHS
Plaquettes de 100 mm (4 »), 150 mm (6 ») ou 200 mm (8 »)
Automatique
25 emplacements

