Cassettes métalliques

WHS propose une gamme complète de cassettes métalliques de wafer semi-conducteurs conçues pour une utilisation dans des salles blanches thermiques. Ces cassettes conçues de précision sont conçues pour répondre aux exigences rigoureuses des environnements de traitement à haute température, de l’automatisation des wafers et des processus de transfert. Toutes les cassettes WHS respectent les normes SEMI, garantissant la compatibilité avec les équipements standards de l’industrie et de hautes performances dans diverses applications.

La série WHS-M comprend quatre modèles distincts adaptés à différents besoins. Le modèle phare WHS-M1 (350° C) est une cassette avancée entièrement en aluminium, disponible en configurations 25 emplacements (standard) et 13 emplacements (plaquette fine). Son profil correspond à celui des cassettes plastiques standard de l’industrie, assurant une intégration fluide dans les systèmes d’automatisation et de transfert. La WHS-M2 (250°C) est une cassette en aluminium héritée avec des butées en plaquette en PTFE Téflon, idéale pour remplacer les anciens outils de procédé CVD et offrant des performances fiables.

Pour les applications à haute température, le robuste WHS-M3 est entièrement fabriqué en acier inoxydable, capable de supporter des températures allant jusqu’à 550°C. La WHS-M4 propose deux options de cassettes de 300 mm : une en aluminium et une en acier inoxydable, offrant une flexibilité selon les exigences spécifiques du procédé. Les cassettes métalliques WHS sont conçues avec une fabrication de haute précision et des matériaux avancés, offrant une durabilité et une fiabilité sur lesquelles les fabricants de semi-conducteurs peuvent compter.

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