Pics de masques

WHS produit des outils de manipulation de photomasques lithographiques de nouvelle génération conçus pour minimiser la contamination par les particules, prévenir les décharges électrostatiques (ESD) et améliorer l’ergonomie pour les techniciens. Que vous travailliez avec des réticules ou des masques, WHS offre une solution pour répondre à vos exigences en matière de manipulation de masques photo. Si vous avez besoin d’un produit conçu sur mesure, WHS peut créer une solution sur mesure pour répondre exactement à vos besoins.

La série de traitement de photomasques WHS-L comprend trois modèles, chacun conçu pour des applications spécifiques. Le WHS-L1 est doté d’un réducteur encapsulé avec des pinces synchronisées pour une manipulation précise des photomasques et des réticules à partir du bord tangentiel latéral, ce qui est idéal pour les scénarios où la précision et un contact minimal sont essentiels. Le WHS-L2 est conçu pour les applications de décalage horizontal, offrant une flexibilité lorsque le WHS-L1 n’est pas adapté. Le WHS-L3 est conçu pour la manipulation de masques ultraviolets extrêmes (EUV) avancés, doté de quatre pinces à profil bas qui s’interfacent de manière transparente avec les nacelles de réticule EUV, garantissant ainsi stabilité et sécurité.

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