Le WHS-L3-6250 est un pic mécanique de précision spécialement conçu pour la manipulation en toute sécurité des réticules EUV avancés. Avec un mécanisme de préhension latérale à 4 pinces, normalement fermé (force constante), le WHS-L3 manipule en toute sécurité les réticules EUV de 6"x6"x0.250 » en saisissant le bord tangentiel, minimisant ainsi les risques de contamination en évitant le contact direct avec les surfaces chromées sensibles. Cela garantit l’intégrité des réticules lors des processus critiques de semi-conducteurs.

Conçu pour être compatible avec les nacelles de stockage de réticule EUV standard de l’industrie, le WHS-L3 est doté d’une fabrication de pince avancée qui offre une durabilité, des propriétés antistatiques et une résistance chimique améliorées. Les pinces raccourcies et supplémentaires offrent un contrôle et une protection supérieurs pour ces réticules EUV délicats et de grande valeur, faisant du WHS-L3 un outil indispensable pour les applications de photolithographie EUV.

Conçu pour être utilisé dans des environnements de salle blanche ISO 3 (FS209E Classe 1), le WHS-L3 est conçu pour résister à des exigences strictes en matière de contrôle de la contamination. Le mécanisme à force constante exerce une pression uniforme et douce sur le réticule, réduisant ainsi le risque d’endommagement tout en assurant une manipulation sûre et fiable.

Le WHS-L3 est livré avec un support de socle de table spécialement conçu, gardant l’outil propre et protégé lorsqu’il n’est pas utilisé, assurant ainsi la longévité et le maintien des performances.

Fabriqué dans une usine certifiée ISO9001 et certifié CE, le WHS-L3 répond aux normes internationales de qualité et de sécurité, offrant une solution fiable pour la manipulation de réticules EUV ultra-sensibles dans les environnements de production de semi-conducteurs.