Applications:
- Alignement - Les aligneurs plats et coupe-bande de plaquettes sont utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour s’assurer que les plaquettes sont correctement orientées au cours de divers processus, tels que la lithographie, le dépôt et la gravure. L’aligneur plat a une encoche ou un plat qui correspond à l’orientation de la structure en réseau cristallin de la plaquette. Ceci est essentiel car l’orientation de la plaquette affecte les performances et la fonctionnalité du dispositif semi-conducteur final.
- Intégrité des lots - Les aligneurs sont également utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour aider les opérateurs à effectuer des contrôles d’intégrité des lots. En tournant la bande dessinée de la plaquette, qui est le marquage d’identification sur le bord de la plaquette, pour qu’elle soit visible par l’opérateur, celui-ci peut vérifier que le bon lot de plaquettes est chargé dans un outil de production. Il s’agit d’une étape importante pour prévenir les erreurs et garantir une qualité de produit constante.
- Inspection des bords - Les aligneurs plats et à encoche sont également utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour inspecter les plaquettes à la recherche de défauts de bord. Cette procédure de macro-inspection est généralement effectuée sous une source lumineuse et consiste à examiner les bords de la plaquette à la recherche de copeaux, de fissures ou d’autres imperfections. Il s’agit d’une étape importante pour prévenir la rupture des plaquettes lors des étapes de traitement suivantes, car les défauts de bord peuvent affaiblir la plaquette et la faire casser ou échouer. En utilisant des aligneurs plats et à encoche pour identifier et inspecter ces défauts, les opérateurs peuvent prendre des mesures pour empêcher le traitement ultérieur des plaquettes défectueuses et éviter des retards de production coûteux.
La série WHS-A6 est un aligneur plat manuel économique conçu pour un alignement précis de la masse supérieure et inférieure de 150 mm (6"). Idéal pour les processus de semi-conducteurs tels que la lithographie, le dépôt et la gravure, le WHS-A6 assure une orientation précise des plats de plaquettes, une étape essentielle dans l’optimisation des performances et de la fonctionnalité des dispositifs à semi-conducteurs.
Conçu pour les cassettes de plaquettes conformes SEMI-conformes, le WHS-A6 est doté de matériaux avancés de platine et de rouleaux résistants à l’abrasion et dissipateurs d’électricité statique. Sa conception antistatique protège les plaquettes sensibles en mettant à la terre à la fois la plaquette et la cassette, offrant ainsi une protection fiable contre les décharges électrostatiques dans les environnements de salles blanches.
Conçu pour les salles blanches ISO 4 (classe 10 FS209E), le WHS-A6 est conçu pour répondre aux normes strictes de contrôle de la contamination requises dans la fabrication de semi-conducteurs. L’ensemble de rouleaux à déconnexion rapide simplifie la maintenance, minimise les temps d’arrêt et garantit une longue durée de vie.
En plus de l’alignement, le WHS-A6 est idéal pour les contrôles d’intégrité des lots et les inspections des bords. Sa conception ergonomique permet aux opérateurs d’effectuer efficacement des vérifications de traçage des plaquettes et d’identifier rapidement les défauts de bord potentiels, évitant ainsi la casse coûteuse des plaquettes et garantissant une qualité de produit constante.
Le WHS-A6 est fabriqué dans une usine certifiée ISO9001, ce qui garantit un contrôle de qualité supérieur, et est certifié CE pour la sécurité et les performances. Cela fait du WHS-A6 une solution fiable et économique pour un alignement précis des plaquettes, répondant aux normes internationales tout en maintenant la rentabilité de la fabrication de semi-conducteurs.
