Applications
- Zone d’expédition/réception : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entrantes d’une cassette d’expédition à une cassette de production WIP.
- Zone épitaxiale : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entrantes d’une cassette d’expédition vers une cassette de production WIP ou de traitement EPI spécialisée.
- Zones de chimie humide : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entre une cassette de production WIP et une cassette en téflon PFA par voie humide lorsqu’elles entrent dans des zones de chimie humide.
- Zones de cuisson par processus thermique : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entre une cassette de production WIP et des cassettes en métal ou en quartz lorsqu’elles entrent dans les zones de processus de cuisson thermique.
- Zones de métrologie et d’inspection : Les transferts de plaquettes peuvent également avoir lieu dans les zones de métrologie et d’inspection où les plaquettes sont analysées et inspectées pour détecter les défauts et d’autres mesures de contrôle de la qualité.
- Sondes et zones d’essai : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entrantes d’une cassette d’expédition vers une cassette de production WIP.
- Retournement/inversion de plaquettes : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes d’une cassette à une autre qui a été inversée à 180°. Dans la fabrication de semi-conducteurs, il existe divers processus qui impliquent de travailler à l’arrière d’une plaquette. Ces processus peuvent inclure la lithographie arrière, la gravure, le dépôt et le collage, entre autres. Pour effectuer ces processus, le fabricant doit retourner la plaquette de manière à ce que l’arrière soit vers le haut.
Ce transfert spécial est un transfert manuel horizontal de glisse de plaquette de précision pour transférer en toute sécurité des plaquettes entre deux cassettes de plaquettes conformes à la SEMI. Il propose une scène personnalisée permettant de placer des cassettes en wafer (standard) ou en h-bar vers le haut (orientation inversée). Cela permet d’utiliser le transfert pour réorienter les plaquettes à 180° dans la cassette RECE. Compatible avec le procédé plastique à haut profil, les cassettes métalliques et la plupart des cassettes d’expédition avec un H-BAR. Propose un système de glissière lisse et sans service, conçu avec des tiges enduites avancées associées à des blocs de roulement UHMW. Matériaux antistatique, abrasions et résistants aux produits chimiques. Compatible avec les salles blanches ISO 4
