Applications

Manipulation d’une seule plaquette

• Outil général pour la manipulation des bords tangentiels de substrats ronds dans les applications de R&D de laboratoire de traitement manuel des plaquettes.
• Conçu pour un maintien sûr et sécurisé des plaquettes, facilitant le placement dans un bécher/bain chimique pour s’assurer que les produits chimiques atteignent à la fois l’avant et l’arrière de la plaquette.
• La hauteur de la pince s’adapte jusqu’à 50 mm d’immersion liquide.
• Les pinces peuvent être positionnées stratégiquement autour du bord de la plaquette et la gâchette ouverte pour soulever la plaquette dans l’outil à partir d’une surface plane.
• Les pinces résistent à une exposition de courte durée jusqu’à 250 °C.

Sauver  

• Idéal pour sauver des wafers coincés à l’intérieur d’un outil de traitement ou d’une automatisation.
• Pour l’enlèvement de plaquettes d’un CMP ou d’un plateau/tampon de polissage de plaquettes.

Le WHS-G3 est un médiator mécanique à trois points, normalement fermé, conçu avec précision, conçu pour des applications spécialisées dans la manipulation des plaquettes. Il adhère solidement aux substrats ronds allant de 50 mm à 300 mm de diamètre, en se concentrant sur la manipulation tangentielle des bords. Le WHS-G3 est un outil idéal pour le traitement d’une seule plaquette en laboratoire et les opérations de sauvetage de plaquettes, offrant des performances polyvalentes dans divers environnements.

Construit avec des pinces en téflon® PTFE haute performance, le WHS-G3 résiste aux produits chimiques agressifs et à des températures allant jusqu’à 250 °C pour une exposition à court terme. Cette durabilité le rend adapté à une utilisation en salle blanche et aux processus chimiques qui nécessitent l’immersion de la plaquette dans des liquides. Les pinces, d’une hauteur de 50 mm, permettent de manipuler en toute sécurité les plaquettes tout en assurant une immersion totale dans les bains chimiques.

L’outil est doté d’un mécanisme d’arrêt réglable sur la gâchette, ce qui permet aux opérateurs de modifier la tension du ressort pour manipuler avec soin les plaquettes fines et composées. Sa conception ergonomique garantit une manipulation sûre et une facilité d’utilisation lors d’opérations délicates, telles que le levage de plaquettes sur des surfaces planes ou leur sauvetage à partir d’outils et d’équipements de traitement tels que les polisseuses CMP.

Fabriqué dans un environnement certifié ISO9001 et certifié CE, le WHS-G3 répond à des normes internationales strictes en matière de qualité et de sécurité. Sa construction robuste, associée à des capacités de manipulation précise, en fait un outil indispensable pour les laboratoires de semi-conducteurs et les salles blanches nécessitant une manipulation prudente et fiable des plaquettes.

Un support de socle de table en option est disponible pour garder l’outil organisé et propre entre les utilisations.