Applications
- Utilisation générale : Les baguettes à vide sont utilisées pour ramasser et transporter des plaquettes d’un endroit à un autre sans ajouter de particules.
- Classement: Pour les applications de tri manuel des plaquettes, les lances à vide permettent aux opérateurs de déplacer les plaquettes en toute sécurité et avec précision au sein d’un lot parent. Ils peuvent également être utilisés pour combiner des lots, ajouter des plaquettes de test et remplacer les plaquettes endommagées, si nécessaire.
- Inspection- Les opérateurs peuvent utiliser des baguettes à vide pour retirer une plaquette d’un lot parent et l’inspecter sous un éclairage spécialisé afin de détecter les défauts. Cela permet de s’assurer que le processus a été couronné de succès et que la plaquette répond aux spécifications requises
- Sauver– Les baguettes à vide peuvent être utilisées pour retirer les substrats toronnés des cassettes, des gousses et des outils de traitement lorsque l’automatisation est sous-performante.
Le WHS-V7 est une baguette à vide portable haute performance conçue pour une manipulation exigeante des plaquettes et une gestion de petits dispositifs en salle blanche. Avec son puissant vide de 800 mBar (23,6" Hg), le WHS-V7 est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses des applications de production complète, ce qui le rend idéal pour des tâches lourdes au-delà du simple sauvetage de plaquettes ou de la production légère. Sa conception portable et autonome offre une indépendance vis-à-vis des lignes à vide, permettant une mobilité complète et un fonctionnement continu dans des environnements à haute production.
Le WHS-V7 est disponible en plusieurs modèles : WHS-V7-300 pour les plaquettes de 300 mm, le WHS-V7-200 pour les plaquettes de 200 mm, et le modèle de base WHS-V7 pour la personnalisation par l’utilisateur avec diverses pointes à vide. De plus, le modèle WHS-V7-SD comprend des ventouses à vide et de petits adaptateurs d’appareil, offrant une manipulation précise de la puce, des boîtiers, des optiques et d’autres petits composants. Cette compatibilité avec toutes les embouts et adaptateurs de la baguette à vide WHS garantit une adaptabilité à un large éventail d’applications.
Avec une batterie haute performance offrant plus de 20 heures de fonctionnement continu par charge, le WHS-V7 est optimisé pour une utilisation prolongée en salle blanche. Le système propose un flux de vide normalement ouvert avec une fonction de récupération automatique permettant un fonctionnement instantané lorsqu’il est retiré de son support, tandis qu’une arrêt automatique économise de l’énergie lorsque l’outil n’est pas utilisé.
Le filtre HEPA avancé H14 capture 99,99 % des particules de 0,3 μm, assurant le contrôle de la contamination selon les normes ISO 3 (FS209E Classe 1) en salle blanche. La conception ESD-sûre, la construction ergonomique et la compatibilité universelle de l’alimentation du WHS-V7 en font une solution idéale pour la manipulation de wafers en production à grande échelle et les applications de petits dispositifs.
Fabriqué dans un environnement certifié ISO9001 et CE, le WHS-V7 établit la norme pour les vacuum wands haute performance dans des environnements de production exigeants.
