WHS

Cassette en acier inoxydable (WHS-M3) 200 mm (8")

Description du produit

Applications:

  • Cuire-  Applications de cuisson thermique à long terme où les gaufrettes sont laissées dans des fours pendant plusieurs jours.
  • Manipulation de plaquettes minces -  Manipulation de plaquettes minces où des plaquettes fines et pointues sont coupées dans des cassettes en plastique.
  • Gaufrettes épaisses -  Applications de plaquettes collées ou épaisses où les cassettes en plastique standard de l’industrie ne fonctionneront pas en raison des dimensions des fentes.
  • Ultrasons et mégasoniques -  Applications de nettoyage où les cassettes en acier inoxydable à paroi latérale ouverte fonctionnent mieux que les cassettes en plastique d’amortissement par ondes sonores.

The M3 series is a high temperature stainless steel for 200 mm (8”) diameter wafers. SEMI compliant 25-slot, 6.35 mm (0.250”) pitch, 25.4 mm (1.00”) D1, 8° slot angle in the profile of an industry plastic cassette. Electro polished (EP) type 316 stainless steel.  For thermal automation processing, general bake applications up to 550°C; or mega- and ultra- sonic cleaning applications.

WHS

Cassette en acier inoxydable (WHS-M3) 200 mm (8")

Choisir l’option
Applications à haute température jusqu’à 550°
Conception solide et indéformable
Conforme à l’automatisation SEMI
Conception de fente biseautée réduisant les rayures
Applications : Cuisson, manipulation de plaquettes minces, plaquettes épaisses et ultrasoniques et mégasoniques

Spécifications

Marque
WHS
Numéro de produit
WHS-M3-1808043
Matériel
Acier inoxydable SST
Taille des plaquettes
200 mm (8")
Slots
25
Haut/bas
Paroi d’extrémité / barre en H
Manche
Pas de poignée
Température de fonctionnement max.
Jusqu’à 550°C
Statut
Demande d’informations

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