WHS

Cassette en acier inoxydable (WHS-M3) 150 mm (6")

Cassette en acier inoxydable (WHS-M3) 150 mm (6")

Description du produit

Applications:

  • Cuire-  Applications de cuisson thermique à long terme où les gaufrettes sont laissées dans des fours pendant plusieurs jours.
  • Manipulation de plaquettes minces -  Manipulation de plaquettes minces où des plaquettes fines et pointues sont coupées dans des cassettes en plastique.
  • Gaufrettes épaisses -  Applications de plaquettes collées ou épaisses où les cassettes en plastique standard de l’industrie ne fonctionneront pas en raison des dimensions des fentes.
  • Ultrasons et mégasoniques -  Applications de nettoyage où les cassettes en acier inoxydable à paroi latérale ouverte fonctionnent mieux que les cassettes en plastique d’amortissement par ondes sonores.

La série M3 est un acier inoxydable haute température pour plaquettes de 150 mm (6") de diamètre. Conformité SEMI à 25 fentes, pas de 4,76 mm (0,1875 »), D1 de 14,5 mm (0,570 »), angle de fente de 8° dans le profil d’une cassette plastique industrielle. Acier inoxydable électro-poli (EP) type 316.  Pour le traitement par automatisation thermique, applications générales de cuisson jusqu’à 550°C ; ou des applications de nettoyage méga- et ultrasoniques.

WHS

Cassette en acier inoxydable (WHS-M3) 150 mm (6")

Choisir l’option
Applications à haute température jusqu’à 550°
Conception solide et indéformable
Conforme à l’automatisation SEMI
Conception de fente biseautée réduisant les rayures
Applications : Cuisson, manipulation de plaquettes minces, plaquettes épaisses et ultrasoniques et mégasoniques

Spécifications

Marque
WHS
Numéro de produit
WHS-M3-1808041
Matériel
Acier inoxydable SST
Taille des plaquettes
150 mm (6")
Slots
25
Haut/bas
Paroi d’extrémité / barre en H
Manche
Pas de poignée
Température de fonctionnement max.
Jusqu’à 550°C
Statut
Demande d’informations

Autres produits d’intérêt

Boutique en ligne
WHS-T1-601
Sécurisez le transfert des wafers
WHS
Transfert de plaquettes SafeGuard (WHS-T1) 150 mm (6")
La série T1 LCT2 est une technologie avancée à transfert automatique de plaquettes en vrac SafeGuard pour plaquettes de 150 mm.
150 mm (6")
Système automatique
Jusqu’à 25
Fibre de carbone antistatique
ISO 3 (Classe 1 FS209E)
Boutique en ligne
WHS-T2-601
Transfert automatique des plaquettes
WHS
Transfert automatique des glissières (WHS-T2) 150 mm (6")
Le LCT1AS12 de la série T2 est un transfert automatique automatique de plaques en vrac pour le transfert en toute sécurité de plaquettes de 150 mm entre deux caisses de plaquettes SEMI conformes
150 mm (6")
Système automatique
Jusqu’à 25
Polyoxyméthylène antistatique
ISO 4 (FS209E Classe 10)
Boutique en ligne
WHS-T3-601
Transfert manuel des plaquettes
WHS
Transfert manuel des plaquettes (WHS-T3) 150 mm (6")
La série T3 de 150 mm (6") est un transfert manuel horizontal de précision de plaques de wafers pour le transfert en toute sécurité de wafers entre deux cassets de wafers conformes SEMI
150 mm (6")
Système manuel
Jusqu’à 25
Polyoxyméthylène antistatique
ISO 4 (FS209E Classe 10)
Boutique en ligne
WHS-V6-200
Baguette portable
WHS
Aspirateur portable sans fil (WHS-V6) 150-200 mm
Le WHS-V6 Serie FWCR2 est une lance d’aspirateur portable sans fil sans fil de 150-200 mm alimentée par batterie de technologie avancée qui permet une indépendance vis-à-vis des conduites de vide. Assure la mobilité
150 à 200 millimètres
Sans fil
Polycarbonate antistatique
WHS-V1-AP4NST - PEEK
ISO 3 (Classe 1 FS209E)