Cette cassette EPI assure un espacement uniforme pour une exposition thermique uniforme et est conçue pour résister à des températures élevées et à une exposition chimique.

Avantages :

• Résistance à la chaleur et aux produits chimiques : Conçu pour résister aux températures extrêmes lors des procédés de diffusion et d’oxydation.
• Manipulation précise : Garantit la stabilité des plaquettes pour éviter toute contamination ou désalignement.
• Compatibilité en salle blanche : faible génération de particules pour maintenir la pureté du procédé.

Matériau : Polyétherimide – PEI (Ultem) :

• Résistance à haute température et résistance mécanique.
• Faible dégazage et contamination minimale, essentiel pour les environnements de salle blanche.

Aluminium :

• Assure un support structurel et une résistance à la chaleur.