Applications:
- Transfert- Transfert manuel de photomasques et de réticules entre les boîtes de rangement de la bibliothèque de masques de l’entrepôt et les boîtes de masques de production telles que les pods SMIF de réticule (RSP), les boîtes de réticule de cartouche Nikon ou les boîtes de réticule de cartouche Canon.
- Inspection- Effectuer des macro-contrôles d’intégrité pendant le transfert, où les opérateurs de manipulation des masques inspectent visuellement les masques pour détecter l’identification du code-barres, les particules, les défauts de chrome, la contamination ou les dommages au cadre ou au film de la pellicule.
- Gouttières de masque - Chargement et déchargement d’outils d’alignement de masques de photolithographie à l’aide de pics de masques.
- Nettoyage- Manipulation des photomasques lors d’applications de nettoyage régulières telles que le nettoyage ponctuel et le nettoyage complet au solvant par immersion.
- Magasins de masques - Couramment utilisé dans les zones de production de fabrication et de réparation de masques dans les magasins de masques.
La série WHS-L1 est un pic mécanique à poignée latérale de précision, normalement fermé (force constante), conçu pour la manipulation en toute sécurité de photomasques de 6 po (6 x 6 x 0,250). En saisissant le masque par le bord tangentiel, le WHS-L1 empêche le contact avec les surfaces chromées sensibles, minimisant ainsi les risques de contamination et préservant l’intégrité des photomasques pendant les processus critiques de semi-conducteurs.
Polyvalent dans son application, le WHS-L1 est idéal pour transférer manuellement des photomasques et des réticules entre des boîtes de stockage et des environnements de production, tels que les réticules SMIF Pods, Nikon et les boîtes de réticules Canon. Il est également essentiel pour effectuer des macro-contrôles d’intégrité pendant les transferts, permettant aux opérateurs d’inspecter les codes-barres, les particules, les défauts ou les dommages au cadre ou au film de la pellicule. De plus, il offre une manipulation fiable pendant les processus de nettoyage et d’inspection des photomasques.
Fabriqué à partir de matériaux avancés, le WHS-L1 est conçu pour être durable, avec des propriétés antistatiques et une résistance chimique, ce qui le rend adapté aux environnements de salle blanche ISO 3 (FS209E Classe 1). Le mécanisme à force constante assure une manipulation sûre et douce, réduisant le risque de dommages tout en offrant un contrôle manuel précis.
Le WHS-L1 est livré avec un support de socle de table spécialement conçu pour garder le médiator de masque propre et protégé contre les dommages entre les utilisations, prolongeant ainsi sa durée de vie opérationnelle et ses performances.
Fabriqué dans une usine certifiée ISO9001 et certifié CE, le WHS-L1 répond aux normes internationales en matière de sécurité et de performance. Sa conception robuste et fiable en fait un outil indispensable pour la manipulation des photomasques dans les installations de fabrication de semi-conducteurs et les magasins de masques, garantissant un fonctionnement sans contamination.
