Applications:
- Alignement- Les aligneurs plats et coupe-bande sont utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour s’assurer que les plaquettes sont correctement orientées au cours de divers processus, tels que la lithographie, le dépôt et la gravure. L’aligneur plat a une encoche ou un plat qui correspond à l’orientation de la structure en réseau cristallin de la plaquette. Ceci est essentiel car l’orientation de la plaquette affecte les performances et la fonctionnalité du dispositif semi-conducteur final.
- Intégrité du lot - Les aligneurs sont également utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour aider les opérateurs à effectuer des contrôles d’intégrité des lots. En tournant la bande dessinée de la plaquette, qui est le marquage d’identification sur le bord de la plaquette, pour qu’elle soit visible par l’opérateur, celui-ci peut vérifier que le bon lot de plaquettes est chargé dans un outil de production. Il s’agit d’une étape importante pour prévenir les erreurs et garantir une qualité de produit constante.
- Inspection des bords - Les aligneurs plats et coupe-bande sont également utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour inspecter les plaquettes à la recherche de défauts de bord. Cette procédure de macro-inspection est généralement effectuée sous une source lumineuse et consiste à examiner les bords de la plaquette à la recherche de copeaux, de fissures ou d’autres imperfections. Il s’agit d’une étape importante pour prévenir la rupture des plaquettes lors des étapes de traitement suivantes, car les défauts de bord peuvent affaiblir la plaquette et la faire casser ou échouer. En utilisant des aligneurs plats et à encoche pour identifier et inspecter ces défauts, les opérateurs peuvent prendre des mesures pour empêcher le traitement ultérieur des plaquettes défectueuses et éviter des retards de production coûteux.
La série WHS-A2 est un aligneur plat manuel conçu pour l’alignement en masse supérieure et inférieure de plaquettes de 100 mm (4"). Il est conçu pour traiter des plaquettes composées telles que InP, GaAs, GaN et SiC, assurant un alignement précis pour les procédés semi-conducteurs critiques, y compris la lithographie, le dépôt et la gravure.
Grâce à son bouton rotatif et à son levier ergonomiques, le WHS-A2 réduit la fatigue de l’opérateur tout en maintenant un contrôle précis de l’alignement. L’étage à ressort engage doucement les plaquettes, protégeant les bords, améliorant le rendement et réduisant les risques de casse.
Construit avec des matériaux dissipateurs d’électricité statique, le WHS-A2 offre une protection contre les décharges électrostatiques en mettant à la terre la plaquette et la cassette, protégeant ainsi les appareils sensibles. Conçu pour fonctionner dans des environnements de salle blanche ISO 4 (classe 10 FS209E), il répond à des exigences strictes en matière de contrôle de la contamination.
Le WHS-A2 est compatible avec les cassettes de plaquettes conformes SEMI-compliant et dispose d’un ensemble de rouleaux à déconnexion rapide pour un entretien facile. Il prend en charge des tâches importantes telles que les contrôles d’intégrité des lots et l’inspection des bords, aidant les opérateurs à détecter les défauts à un stade précoce et à éviter des retards coûteux.
Fabriqué dans une usine certifiée ISO9001, le WHS-A2 est certifié CE, garantissant le respect des normes internationales rigoureuses de qualité et de sécurité. Cela en fait un choix idéal pour la manipulation précise des plaquettes dans les applications de salles blanches.
