Applications:
- Inspection des plaquettes - Les présentateurs de plaquettes sont utilisés pour maintenir et faire pivoter les plaquettes pendant l’inspection, ce qui permet une macro-analyse automatisée et cohérente des surfaces et des caractéristiques des plaquettes. Couramment observé dans la production de plaquettes brutes, l’inspection post-épitaxiale, le voile de plaquettes de verre, les rayures, l’inspection des macro-défauts et les inspections de l’intégrité du processus de lot en photolithographie (résine photosensible) et dans les zones de sonde/test (encrage).
- Réduction des rayures - Des rayures sur les wafers peuvent se produire lors de la manipulation et peuvent entraîner des défauts et une perte de rendement. Les présentateurs de plaquettes sont conçus pour soulever la plaquette de sa cassette, ce qui permet aux opérateurs d’accéder à la plaquette et de la manipuler sans avoir à passer physiquement entre les plaquettes à l’intérieur de la cassette. Cela élimine la nécessité pour les opérateurs de manipuler manuellement la plaquette et réduit le risque d’endommagement ou de contamination.
Le WHS-P4 200 mm (8") est un présentateur manuel à une plaquette conçu pour améliorer la manipulation et l’inspection des plaquettes tout en minimisant le risque de dommages ou de contamination. Disponible en quatre tailles — 76 mm (3 »), 100 mm (4 »), 150 mm (6 ») et 200 mm (8 ») — cet outil de précision extrait une unique plaquette de sa cassette et la présente à l’opérateur pour un retrait facile ou une inspection macro. Le WHS-P4 élimine le besoin de manipulation manuelle des plaquettes à l’intérieur de la cassette, réduisant considérablement le risque de rayures sur les plaquettes voisines.
Construit avec des matériaux antistatiques et conçu pour répondre aux normes strictes ISO 4 (FS209E Classe 10) pour salles blanches, le WHS-P4 assure une protection optimale de vos wafers. Les opérateurs peuvent utiliser le sélecteur pour soulever l’une des 25 plaquettes d’une cassette, ce qui en fait un outil idéal pour l’inspection, le tri et le traitement des plaquettes. La lame de levage antistatique de précision permet une manipulation sécurisée des plaquettes sans contact physique sur la surface sensible des plaquettes.
Le WHS-P4 offre une solution rentable et nécessitant peu d’entretien pour la manipulation des plaquettes, ce qui en fait un outil polyvalent et essentiel dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs. Conçu pour éviter les rayures et les défauts des wafers, il constitue une méthode fiable pour améliorer le rendement et réduire les dommages liés à la manipulation.
Fabriqué dans une usine certifiée ISO9001 et certifié CE, le WHS-P4 offre une solution durable et performante pour les processus de manipulation et d’inspection des plaquettes en salle blanche.
