Applications:
- Alignement- Les aligneurs plats et coupe-bande sont utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour s’assurer que les plaquettes sont correctement orientées au cours de divers processus, tels que la lithographie, le dépôt et la gravure. L’aligneur plat a une encoche ou un plat qui correspond à l’orientation de la structure en réseau cristallin de la plaquette. Ceci est essentiel car l’orientation de la plaquette affecte les performances et la fonctionnalité du dispositif semi-conducteur final.
- Intégrité du lot - Les aligneurs sont également utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour aider les opérateurs à effectuer des contrôles d’intégrité des lots. En tournant la bande dessinée de la plaquette, qui est le marquage d’identification sur le bord de la plaquette, pour qu’elle soit visible par l’opérateur, celui-ci peut vérifier que le bon lot de plaquettes est chargé dans un outil de production. Il s’agit d’une étape importante pour prévenir les erreurs et garantir une qualité de produit constante.
- Inspection des bords - Les aligneurs plats et coupe-bande sont également utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour inspecter les plaquettes à la recherche de défauts de bord. Cette procédure de macro-inspection est généralement effectuée sous une source lumineuse et consiste à examiner les bords de la plaquette à la recherche de copeaux, de fissures ou d’autres imperfections. Il s’agit d’une étape importante pour prévenir la rupture des plaquettes lors des étapes de traitement suivantes, car les défauts de bord peuvent affaiblir la plaquette et la faire casser ou échouer. En utilisant des aligneurs plats et à encoche pour identifier et inspecter ces défauts, les opérateurs peuvent prendre des mesures pour empêcher le traitement ultérieur des plaquettes défectueuses et éviter des retards de production coûteux.
La série WHS-A4 est un aligneur manuel de précision à encoches de wafer conçu pour l’alignement en volume supérieur et inférieur de plaquettes de 150 mm (6"). Idéal pour les applications semi-conductrices telles que la lithographie, le dépôt et la gravure, cet aligneur garantit que l’orientation de l’encoche de la plaquette est précisément alignée pour les procédés critiques. Conçu pour répondre aux exigences de la production moderne de semi-conducteurs, il est compatible avec les cassettes wafer de 200 mm conformes aux normes SEMI.
Doté d’un peigne cranté à ressort et d’un rouleau en polyuréthane antistatique, le WHS-A4 offre un contact doux avec les plaquettes, protégeant les bords des plaquettes tout en minimisant la génération de particules et en maximisant le rendement. Sa conception ergonomique comprend un système de bouton rotatif et de levier, réduisant la fatigue de l’opérateur lors des tâches d’alignement manuel.
Construit avec des matériaux dissipateurs d’électricité statique, le WHS-A4 offre une protection ESD robuste, mettant à la terre à la fois la plaquette et la cassette pour éviter d’endommager les dispositifs à semi-conducteurs sensibles. Conçu pour les environnements de salle blanche ISO 4 (classe 10 FS209E), l’aligneur répond à des normes strictes de contrôle de la contamination.
L’entretien est simplifié grâce à l’ensemble de rouleaux à déconnexion rapide, ce qui permet un nettoyage rapide et efficace. En plus de l’alignement, le WHS-A4 prend en charge les contrôles d’intégrité des lots et les inspections des bords, ce qui permet aux opérateurs de détecter rapidement les défauts des plaquettes et d’éviter des retards de production coûteux.
Fabriqué dans une usine certifiée ISO9001 et CE, le WHS-A4 répond à des normes internationales rigoureuses en matière de qualité et de performance, ce qui en fait la solution idéale pour l’alignement manuel précis des plaquettes dans les environnements de salles blanches de semi-conducteurs.
