Applications:
- Équipement de traitement -Environnements de procédés thermiques où la plaquette est traitée dans la cassette au-dessus de 43 °C (110 °F), la limite supérieure du seuil structurel typique des cassettes de traitement plastique. Cela inclut le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le traitement thermique rapide (RTP) et les applications de recuit de plaquettes.
- Températures d’insertion élevées des plaquettes - Équipement de traitement où les températures d’insertion des plaquettes (plaquettes sortant de l’outil de traitement) dépassent le point de fusion d’une cassette en plastique. La nécessité d’un débit plus élevé réduit le temps pendant lequel les plaquettes sont laissées à l’intérieur de la chambre pour refroidir et s’acclimater.
- Exigences en matière de support de précision - Environnements d’automatisation à température modérée où il est nécessaire d’obtenir une précision dimensionnelle qu’une cassette en plastique ne peut pas offrir.
- Gaufrettes épaisses - Applications de plaquettes collées ou épaisses où les cassettes en plastique standard de l’industrie ne fonctionneront pas en raison des dimensions des fentes.
La série M2 est une cassette métallique entièrement en aluminium à 25 fentes destinée au traitement de plaquettes semi-conductrices en environnement thermique, jusqu’à 250° C. Une cassette conforme à la SEMI avec des parois latérales droites, des entretoises en acier inoxydable, des butées de plaquettes en PTFE et des angles de fente de 8°. Toutes les surfaces en aluminium sont (HC) dures et transparentes anodisées pour une résistance prolongée à l’abrasion. Configurations personnalisées disponibles (pouvant entraîner des quantités minimales de commande) : placage nickel sans électro EN-sur types aluminium pour applications à haut vide ; fente à profil plat pour les plaquettes fines ou épaisses ; poignées fixes sur le mur d’extrémité ; Configurations doubles H-Bar pour le traitement des plaquettes à l’arrière.
Veuillez envoyer vos demandes à sales@spstest.nl
