Applications:
- Transfert- Transfert manuel de photomasques et de réticules entre les boîtes de rangement de la bibliothèque de masques de l’entrepôt et les boîtes de masques de production telles que les pods SMIF de réticule (RSP), les boîtes de réticule de cartouche Nikon ou les boîtes de réticule de cartouche Canon.
- Inspection- Effectuer des macro-contrôles d’intégrité pendant le transfert, où les opérateurs de manipulation des masques inspectent visuellement les masques pour détecter l’identification du code-barres, les particules, les défauts de chrome, la contamination ou les dommages au cadre ou au film de la pellicule.
- Gouttières de masque - Chargement et déchargement d’outils d’alignement de masques de photolithographie à l’aide de pics de masques.
- Métrologie- Chargement et déchargement de microscopes et d’outils de métrologie pour l’inspection de masques et de réticules à l’aide de pics de masques.
- Nettoyage- Manipulation des photomasques lors d’applications de nettoyage régulières telles que le nettoyage ponctuel et le nettoyage complet au solvant par immersion.
- Magasins de masques - Couramment utilisé dans les zones de production de fabrication et de réparation de masques dans les magasins de masques.
Le WHS-L2 est un médiator mécanique à poignée horizontale décalée normalement fermée (force constante) pour manipuler des photomasques de 5"x 5 » x 0,090 » depuis le bord tangentiel afin de réduire la contamination en éliminant le contact avec le chrome. Fabrication avancée de grippers pour la longévité, les propriétés antistatiques et la résistance chimique générale. ISO Classe 3.
