Applications
- Utilisation générale : Les baguettes à vide sont utilisées pour ramasser et transporter des plaquettes d’un endroit à un autre sans ajouter de particules.
- Classement: Pour les applications de tri manuel des plaquettes, les lances à vide permettent aux opérateurs de déplacer les plaquettes en toute sécurité et avec précision au sein d’un lot parent. Ils peuvent également être utilisés pour combiner des lots, ajouter des plaquettes de test et remplacer les plaquettes endommagées, si nécessaire.
- Inspection- Les opérateurs peuvent utiliser des baguettes à vide pour retirer une plaquette d’un lot parent et l’inspecter sous un éclairage spécialisé afin de détecter les défauts. Cela permet de s’assurer que le processus a été couronné de succès et que la plaquette répond aux spécifications requises
- Sauver– Les baguettes à vide peuvent être utilisées pour retirer les substrats toronnés des cassettes, des gousses et des outils de traitement lorsque l’automatisation est sous-performante.
Le WHS-V6-300 est une baguette d’aspirateur portable de 300 mm alimentée par batterie qui offre la mobilité nécessaire pour aller n’importe où dans la salle blanche. La puissante pompe à vide, la batterie haute performance et le support d’arrêt automatique permettent à ce système d’être utilisé dans un environnement de production élevée pendant plusieurs jours sur une seule charge. Livré avec une pointe à vide de 300 mm (WHS-V1-AP6NST). Conçu pour le sauvetage de plaquettes ou la production légère, ISO 3, FS209E Classe 1.
