Applications:
- Alignement - Les aligneurs plats et coupe-bande sont utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour s’assurer que les plaquettes sont correctement orientées au cours de divers processus, tels que la lithographie, le dépôt et la gravure. La plaquette a une encoche ou un plat qui correspond à l’orientation de la structure du réseau cristallin de la plaquette. Ceci est essentiel car l’orientation de la plaquette affecte les performances et la fonctionnalité du dispositif semi-conducteur final.
- Intégrité du lot - Les aligneurs sont également utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour aider les opérateurs à effectuer des contrôles d’intégrité des lots. En tournant la bande dessinée de la plaquette, qui est le marquage d’identification sur le bord de la plaquette, pour qu’elle soit visible par l’opérateur, celui-ci peut vérifier que le bon lot de plaquettes est chargé dans un outil de production. Il s’agit d’une étape importante pour prévenir les erreurs et garantir une qualité de produit constante.
- Inspection des bords - Les aligneurs plats et coupe-bande sont également utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour inspecter les plaquettes à la recherche de défauts de bord. Cette procédure de macro-inspection est généralement effectuée sous une source lumineuse et consiste à examiner les bords de la plaquette à la recherche de copeaux, de fissures ou d’autres imperfections. Il s’agit d’une étape importante pour prévenir la rupture des plaquettes lors des étapes de traitement suivantes, car les défauts de bord peuvent affaiblir la plaquette et la faire casser ou échouer. En utilisant des aligneurs plats et à encoche pour identifier et inspecter ces défauts, les opérateurs peuvent prendre des mesures pour empêcher le traitement ultérieur des plaquettes défectueuses et éviter des retards de production coûteux.
La série WHS-A1 de WHS est un aligneur plat automatique de pointe conçu pour un alignement précis des plaquettes sur des plaquettes de 76 mm, garantissant une précision à ±1°. Construit avec des technologies de pointe et des matériaux sûrs contre l’ESD, le WHS-A1 est idéal pour manipuler des matériaux avancés tels que l’InP, le GaAs, le GaN et le SiC, ce qui en fait une solution idéale pour l’industrie actuelle des semi-conducteurs composés. Le système dispose d’un étage motorisé pour un levage doux de la plaquette, protégeant les bords de la plaquette et maximisant le rendement de production.
L’interface à écran tactile intégrée permet aux utilisateurs d’accéder à plusieurs programmes, notamment les modes d’alignement standard, d’alignement de plaquettes minces/composées et d’inspection des bords. Conçu pour les salles blanches, le WHS-A1 fonctionne dans des conditions ISO 3 (Classe 1 FS209E), garantissant le respect des normes de propreté et de contrôle de la contamination les plus strictes.
Les ensembles de rouleaux à déconnexion rapide facilitent l’entretien de l’aligneur, minimisant ainsi les temps d’arrêt, tandis que la compatibilité avec les cassettes de plaquettes conformes SEMI permet une intégration transparente dans les processus existants.
Qu’il soit utilisé pour l’intégrité des lots, l’orientation des cristaux ou l’inspection des bords des plaquettes, le WHS-A1 est conçu pour améliorer l’efficacité opérationnelle et la qualité du produit. Fabriqué dans une usine certifiée ISO9001 et CE, le WHS-A1 s’aligne sur les normes mondiales les plus élevées en matière de sécurité, de performance et de fiabilité.
