Applications

• Zone d’expédition/réception : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entrantes d’une cassette d’expédition à une cassette de production WIP.
   
• Zone épitaxiale : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entrantes d’une cassette d’expédition vers une cassette de production WIP ou de traitement EPI spécialisée.
   
• Zones de chimie humide : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entre une cassette de production WIP et une cassette en téflon PFA par voie humide lorsqu’elles entrent dans des zones de chimie humide.
   
• Zones de cuisson par processus thermique : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entre une cassette de production WIP et des cassettes en métal ou en quartz lorsqu’elles entrent dans les zones de processus de cuisson thermique.
   
• Zones de métrologie et d’inspection : Les transferts de plaquettes peuvent également avoir lieu dans les zones de métrologie et d’inspection où les plaquettes sont analysées et inspectées pour détecter les défauts et d’autres mesures de contrôle de la qualité.
   
• Sondes et zones d’essai : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entrantes d’une cassette d’expédition vers une cassette de production WIP.
   

La série WHS-T2 est un système de transfert horizontal automatique de plaques de gaufrettes en vrac, conçu avec précision, conçu pour déplacer en toute sécurité des plaquettes entre deux cassettes SEMI-conformes. Disponible dans des tailles dédiées pour les plaquettes de 76 mm, 100 mm, 150 mm et 200 mm, la WHS-T2 est compatible avec les cassettes de traitement en plastique à profil haut et bas, les cassettes métalliques et la plupart des cassettes d’expédition avec une H-BAR. Ce système avancé assure des transferts de plaquettes fluides et efficaces dans diverses applications de semi-conducteurs, y compris l’expédition/réception, l’épitaxie, la chimie humide et les zones de traitement thermique.

Le WHS-T2 est équipé d’un écran tactile pour un contrôle intuitif, de capteurs intégrés de cassette en place pour les étages d’envoi et de réception et d’un capteur de résistance de bras de transfert réglable pour détecter les forces excessives pendant le mouvement, préservant ainsi l’intégrité des plaquettes.

De plus, un capteur à ultrasons fournit un contrôle de sécurité supplémentaire en détectant si des plaquettes sont déjà présentes dans la cassette RECEIVE lorsque l’opérateur lance un transfert, ce qui permet d’éviter les erreurs potentielles ou d’endommager les plaquettes.

Fabriqué à partir de matériaux antistatiques et résistants aux produits chimiques, le WHS-T2 garantit un environnement propre et contrôlé, conforme aux normes ISO 4 (FS209E Classe 10) pour les salles blanches. Sa polyvalence le rend adapté à la manipulation de plaquettes dans les zones de métrologie, de gravure, d’inspection, de sonde et de test.

Fabriqué dans une usine certifiée ISO9001 et certifié CE, le WHS-T2 offre une solution robuste et fiable pour les transferts de plaquettes de précision dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs.