Applications
- Inspection des plaquettes - Les présentateurs de plaquettes sont utilisés pour maintenir et faire pivoter les plaquettes pendant l’inspection, ce qui permet une macro-analyse automatisée et cohérente des surfaces et des caractéristiques des plaquettes. Couramment observé dans la production de plaquettes brutes, l’inspection post-épitaxiale, le voile de plaquettes de verre, les rayures, l’inspection des macro-défauts et les inspections de l’intégrité du processus de lot en photolithographie (résine photosensible) et dans les zones de sonde/test (encrage).
- Réduction des rayures - Des rayures sur les plaquettes peuvent se produire lors de la manipulation et peuvent entraîner des défauts et une perte de rendement. Les présentateurs de plaquettes sont conçus pour soulever la plaquette de sa cassette, ce qui permet aux opérateurs d’accéder à la plaquette et de la manipuler sans avoir à passer physiquement entre les plaquettes à l’intérieur de la cassette. Cela élimine la nécessité pour les opérateurs de manipuler manuellement la plaquette et réduit le risque d’endommagement ou de contamination.
Le WHS-P1 150 mm (6") avec table est un présentateur de plaquettes unique automatisé avec rotation, conçu pour la manipulation et l’inspection de précision des plaquettes de semi-conducteurs. Disponible pour les plaquettes de 76 mm (3 %), 100 mm (4 %), 150 mm (6 %) et 200 mm (8 po) de diamètre, le système WHS-P1 soulève entièrement une seule plaquette de sa cassette, ce qui permet aux opérateurs de retirer la plaquette en toute sécurité ou d’effectuer une inspection détaillée. Le système dispose également d’une fonction de retournement de plaquette à 180° pour l’inspection ou le traitement de l’arrière-face.
Nombreux sont ceux qui utilisent le WHS-P1 pour retourner ou inverser les plaquettes au sein de la même cassette, en conservant l’orientation d’origine de la fente de la plaquette. Ce processus de réorientation ne prend que quelques minutes par lot et peut être exécuté avec un programme distinct, ce qui améliore la flexibilité opérationnelle tout en maintenant les plaquettes correctement positionnées dans leurs fentes.
Fabriqué à partir de matériaux antistatiques, le WHS-P1 assure une protection optimale des plaquettes en minimisant les décharges électrostatiques et les dommages physiques. Sa conception répond aux normes ISO 3 pour les salles blanches, ce qui le rend adapté aux environnements sensibles des semi-conducteurs où le contrôle de la contamination est essentiel.
Les applications comprennent les processus d’inspection des plaquettes tels que la macro-analyse des surfaces, la détection des rayures et des défauts, l’inspection post-épitaxiale et les évaluations de l’uniformité des couches. Le levage et la rotation automatisés éliminent la manipulation manuelle des plaquettes, réduisant ainsi le risque de rayures et d’erreurs de manipulation.
Le WHS-P1 est disponible avec une table en acier inoxydable de qualité salle blanche en option, conçue pour monter l’unité à la hauteur ergonomique idéale pour les opérateurs. Fabriqué dans une usine certifiée ISO9001 et certifié CE, le WHS-P1 est conçu pour des performances à long terme dans les environnements de salle blanche.
