Applications:
- Alignement- Les aligneurs plats et coupe-bande sont utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour s’assurer que les plaquettes sont correctement orientées au cours de divers processus, tels que la lithographie, le dépôt et la gravure. L’aligneur plat a une encoche ou un plat qui correspond à l’orientation de la structure en réseau cristallin de la plaquette. Ceci est essentiel car l’orientation de la plaquette affecte les performances et la fonctionnalité du dispositif semi-conducteur final.
- Intégrité du lot - Les aligneurs sont également utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour aider les opérateurs à effectuer des contrôles d’intégrité des lots. En tournant la bande dessinée de la plaquette, qui est le marquage d’identification sur le bord de la plaquette, pour qu’elle soit visible par l’opérateur, celui-ci peut vérifier que le bon lot de plaquettes est chargé dans un outil de production. Il s’agit d’une étape importante pour prévenir les erreurs et garantir une qualité de produit constante.
- Inspection des bords - Les aligneurs plats et coupe-bande sont également utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs pour inspecter les plaquettes à la recherche de défauts de bord. Cette procédure de macro-inspection est généralement effectuée sous une source lumineuse et consiste à examiner les bords de la plaquette à la recherche de copeaux, de fissures ou d’autres imperfections. Il s’agit d’une étape importante pour prévenir la rupture des plaquettes lors des étapes de traitement suivantes, car les défauts de bord peuvent affaiblir la plaquette et la faire casser ou échouer. En utilisant des aligneurs plats et à encoche pour identifier et inspecter ces défauts, les opérateurs peuvent prendre des mesures pour empêcher le traitement ultérieur des plaquettes défectueuses et éviter des retards de production coûteux.
La série WHS-A3 est un aligneur automatique de tranches de pointe, conçu pour un alignement en vrac précis de ±1° de plaquettes de 200 mm (8"). Ce système avancé dispose d’un ensemble de peigne de capture à encoche de précision, combiné à un rouleau en polyuréthane sûr contre les ESD, afin d’assurer une manipulation fiable et sûre de matériaux semi-conducteurs sensibles tels que SiC, GaN et GaAs. Elle est idéale pour des processus critiques tels que la lithographie, le dépôt et la gravure.
Grâce à une interface à écran tactile protégée par mot de passe, les opérateurs peuvent accéder à plusieurs programmes d’alignement, notamment le mode standard, l’alignement des plaquettes minces/composées et le mode d’inspection des bords. Le WHS-A3 offre une flexibilité exceptionnelle pour s’adapter aux diverses exigences de manipulation des plaquettes, tout en conservant la plus grande précision.
Construit avec des matériaux dissipateurs d’électricité statique, le WHS-A3 offre une protection ESD robuste en mettant à la terre la plaquette et la cassette, protégeant contre les décharges électrostatiques pendant la manipulation. Ce système est conçu pour fonctionner dans des environnements de salle blanche ISO 3 (classe 1 FS209E), répondant aux normes les plus élevées en matière de contrôle de la contamination.
Le WHS-A3 prend également en charge des tâches essentielles telles que les contrôles d’intégrité des lots et les inspections des bords, ce qui permet aux opérateurs d’identifier et de traiter les défauts des wafers dès le début du processus. Conçu pour un entretien facile, il est doté d’un ensemble de rouleaux à déconnexion rapide pour un nettoyage rapide et simple.
Fabriqué dans une usine certifiée ISO9001 et CE, le WHS-A3 répond à des normes internationales rigoureuses, ce qui en fait la solution idéale pour l’alignement de plaquettes de haute précision dans des environnements de production de semi-conducteurs exigeants.
