Applications:
- Équipement de traitement - Environnements de procédés thermiques où la plaquette est traitée dans la cassette au-dessus de 43 °C (110 °F), la limite supérieure du seuil structurel typique des cassettes de traitement plastique. Cela inclut le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le traitement thermique rapide (RTP) et les applications de recuit de plaquettes.
- Cuire- Applications de cuisson thermique à long terme où les gaufrettes sont laissées dans des fours pendant plusieurs jours.
- Températures d’insertion de plaquettes élevées - Équipement de traitement où les températures d’insertion des plaquettes (plaquettes sortant de l’outil de traitement) dépassent le point de fusion d’une cassette en plastique. La nécessité d’un débit plus élevé réduit le temps pendant lequel les plaquettes sont laissées à l’intérieur de la chambre pour refroidir et s’acclimater.
- Cassette d’environnement interne - Environnements d’automatisation d’outils en cluster où une cassette est inactive à l’intérieur d’un environnement de vide chauffé (chambre) pour plusieurs étapes de processus.
- Exigences relatives aux supports de précision - Environnements d’automatisation à température modérée où il y a un besoin de précision dimensionnelle qu’une cassette en plastique ne peut pas offrir.
- Manipulation de plaquettes minces - Manipulation de plaquettes minces où des plaquettes fines et pointues sont coupées dans des cassettes en plastique.
- Gaufrettes épaisses - Applications de plaquettes collées ou épaisses où les cassettes en plastique standard de l’industrie ne fonctionneront pas en raison des dimensions des fentes.
La série M1 est une cassette entièrement en aluminium de 200 mm (8") à 25 fentes métalliques, avec une option de poignée à paroi terminale pour traiter des plaquettes semi-conductrices en environnement thermique, jusqu’à 350° C. Une cassette conforme à SEMI avec des dimensions extérieures et des emplacements angulaires de 8°, similaire à une cassette plastique standard de l’industrie, pour une intégration facile dans les considérations d’automatisation des étapes et du transfert. Toutes les surfaces en aluminium sont (HC) dures et transparentes anodisées pour une résistance prolongée à l’abrasion.
