Applications:
- Équipement de traitement - Environnements de procédés thermiques où la plaquette est traitée dans la cassette au-dessus de 43 °C (110 °F), la limite supérieure du seuil structurel typique des cassettes de traitement plastique. Cela inclut le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le traitement thermique rapide (RTP) et les applications de recuit de plaquettes.
- Cuire- Applications de cuisson thermique à long terme où les gaufrettes sont laissées dans des fours pendant plusieurs jours.
- Températures d’insertion de plaquettes élevées - Équipement de traitement où les températures d’insertion des plaquettes (plaquettes sortant de l’outil de traitement) dépassent le point de fusion d’une cassette en plastique. La nécessité d’un débit plus élevé réduit le temps pendant lequel les plaquettes sont laissées à l’intérieur de la chambre pour refroidir et s’acclimater.
- Cassette d’environnement interne - Environnements d’automatisation d’outils en cluster où une cassette est inactive à l’intérieur d’un environnement de vide chauffé (chambre) pour plusieurs étapes de processus.
- Exigences relatives aux supports de précision - Environnements d’automatisation à température modérée où il y a un besoin de précision dimensionnelle qu’une cassette en plastique ne peut pas offrir.
- Manipulation de plaquettes minces - Manipulation de plaquettes minces où des plaquettes fines et pointues sont coupées dans des cassettes en plastique.
- Gaufrettes épaisses - Applications de plaquettes collées ou épaisses où les cassettes en plastique standard de l’industrie ne fonctionneront pas en raison des dimensions des fentes.
The M1 series is an all aluminum 150 mm (6") 25-slot metal cassette for processing semiconductor wafers in a thermal environment, up to 350° C. A SEMI compliant cassette with outside dimensions and flat slots similar to an industry standard plastic cassette for easy integration into stage and transfer automation considerations. All aluminum surfaces are (HC) hard clear anodized for prolonged abrasion resistance.
