Applications :

• Équipement de procédé - Les environnements thermiques traitent où la tranche est traitée dans la cassette au-dessus de 43°C (110° F), la limite limite structurelle supérieure typique des cassettes de procédé plastique.  Cela inclut le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le traitement thermique rapide (RTP) et les applications de recuit par wafer.
• Cuisson -Applications de cuisson thermique à long terme où les plaquettes sont laissées dans des fours pendant plusieurs jours.
• Températures élevées d’insertion de plaquettes -Équipement de procédé où les températures d'insertion des plaquettes (plaquettes sortant de l'outil de procédé) dépassent le point de fusion d'une cassette en plastique. Le besoin d'un débit plus élevé réduit le temps pendant lequel les plaquettes restent dans la chambre pour refroidir et s'acclimater.
• Cassette interne de l’environnement -Environnements d'automatisation de cluster où une cassette est inactive à l'intérieur d'un environnement sous vide chauffé (chambre) pendant plusieurs étapes de procédé.
• Exigences pour les porte-avions de précision -Environnements d'automatisation à thermique modéré où il existe un besoin de précision dimensionnelle qu'une cassette en plastique ne peut pas offrir.
• Manipulation de plaquettes fines -Manipulation de plaquettes minces où des plaquettes minces et tranchantes coupent les cassettes en plastique.
• Épaisses gaufrettes -Applications de plaquettes épaisses ou collées où les cassettes en plastique standard de l'industrie ne fonctionneront pas en raison des dimensions des fentes.

La série M1 est une cassette entièrement en aluminium de 76 mm (8") à 25 fentes métalliques, destinée au traitement de plaquettes semi-conductrices en environnement thermique, jusqu’à 350°C. Une cassette conforme à SEMI avec des dimensions extérieures et des emplacements angulaires ou plats de 8°, similaires à une cassette plastique standard de l’industrie, pour une intégration facile dans les considérations d’automatisation des étapes et du transfert. Toutes les surfaces en aluminium sont (HC) dures et transparentes anodisées pour une résistance prolongée à l’abrasion.