Applications :
- Équipement de procédé - Les environnements thermiques traitent où la tranche est traitée dans la cassette au-dessus de 43°C (110° F), la limite limite structurelle supérieure typique des cassettes de procédé plastique. Cela inclut le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le traitement thermique rapide (RTP) et les applications de recuit par wafer.
- Cuisson - Des applications de cuisson thermique à long terme où les wafers sont laissés dans les fours pendant plusieurs jours.
- Températures élevées d’insertion de plaquettes - Équipements de procédé où la température d’insertion des plaquettes (wafers sortant de l’outil de procédé) dépasse le point de fusion d’une cassette en plastique. Le besoin d’un débit plus élevé réduit le temps que les plaquettes restent à l’intérieur de la chambre pour refroidir et s’acclimater.
- Cassette interne de l’environnement - Environnements d’automatisation d’outils groupés où une cassette est inactive dans un environnement à vide chauffé (chambre) pendant plusieurs étapes du processus.
- Exigences pour les porte-avions de précision - Environnements d’automatisation thermique modérée où il y a un besoin de précision dimensionnelle qu’une cassette en plastique ne peut offrir.
- Manipulation de plaquettes fines - Manipulation de plaquettes fines où des plaquettes fines et tranchantes coupent dans des cassettes en plastique.
- Épaisses gaufrettes - Les applications de plaquettes collées ou épaisses où les cassettes plastiques standard de l’industrie ne fonctionneront pas en raison des dimensions des fentes.
La série M1 est une cassette entièrement en aluminium de 76 mm (8") à 25 fentes métalliques, destinée au traitement de plaquettes semi-conductrices en environnement thermique, jusqu’à 350°C. Une cassette conforme à SEMI avec des dimensions extérieures et des emplacements angulaires ou plats de 8°, similaires à une cassette plastique standard de l’industrie, pour une intégration facile dans les considérations d’automatisation des étapes et du transfert. Toutes les surfaces en aluminium sont (HC) dures et transparentes anodisées pour une résistance prolongée à l’abrasion.
