Applications:
- Équipement de procédé - Environnements de procédés thermiques où la plaquette est traitée dans la cassette au-dessus de 43 °C (110 °F), la limite supérieure du seuil structurel typique des cassettes de traitement plastique. Cela inclut le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le traitement thermique rapide (RTP) et les applications de recuit de plaquettes.
- Cuire-Applications de cuisson thermique à long terme où les plaquettes sont laissées dans des fours pendant plusieurs jours.
- Températures d’insertion de plaquettes élevées -Équipement de procédé où les températures d'insertion des plaquettes (plaquettes sortant de l'outil de procédé) dépassent le point de fusion d'une cassette en plastique. Le besoin d'un débit plus élevé réduit le temps pendant lequel les plaquettes restent dans la chambre pour refroidir et s'acclimater.
- Cassette d’environnement interne -Environnements d'automatisation de cluster où une cassette est inactive à l'intérieur d'un environnement sous vide chauffé (chambre) pendant plusieurs étapes de procédé.
- Exigences relatives aux supports de précision -Environnements d'automatisation à thermique modéré où il existe un besoin de précision dimensionnelle qu'une cassette en plastique ne peut pas offrir.
- Manipulation de plaquettes minces -Manipulation de plaquettes minces où des plaquettes minces et tranchantes coupent les cassettes en plastique.
- Gaufrettes épaisses -Applications de plaquettes épaisses ou collées où les cassettes en plastique standard de l'industrie ne fonctionneront pas en raison des dimensions des fentes.
La série M1 est une cassette entièrement en aluminium de 76 mm (8") à 25 fentes métalliques, destinée au traitement de plaquettes semi-conductrices en environnement thermique, jusqu’à 350°C. Une cassette conforme à SEMI avec des dimensions extérieures et des emplacements angulaires ou plats de 8°, similaires à une cassette plastique standard de l’industrie, pour une intégration facile dans les considérations d’automatisation des étapes et du transfert. Toutes les surfaces en aluminium sont (HC) dures et transparentes anodisées pour une résistance prolongée à l’abrasion.
