Entrez dans l’avenir de la fabrication de semi-conducteurs avec les systèmes de manutention de plaquettes WHS. Notre portefeuille complet, comprenant des cassettes métalliques WHS-M1, WHS-M2, WHS-M3 et WHS-M4, est soigneusement conçu pour manipuler les wafers avec une précision et un soin inégalés. Embrassez un monde où la grande tranche compte, et où votre succès est notre priorité.
Découvrez le sommet du traitement thermique des plaquettes avec la série WHS-M1. Conçues avec une construction moderne en aluminium, ces cassettes offrent des capacités de haute température allant jusqu’à 350 °C. Offrant des configurations polyvalentes et des caractéristiques spécialisées comme le placage nickelé sans électro et les designs à double barre H, le WHS-M1 établit la norme dans les applications de traitement des semi-conducteurs.
Découvrez l’avenir des conceptions de cassettes métalliques traditionnelles avec la série WHS-M2. Conçues avec précision et dotées d’une construction innovante à rainure languette, ces cassettes assurent un fonctionnement fluide et une longévité. Compatible avec les configurations OEM existantes, le WHS-M2 offre fiabilité et polyvalence pour améliorer les outils de procédé semi-conducteurs.
Voici les cassettes en acier inoxydable M3, révolutionnant le traitement des wafers à haute température. Résistant à des températures allant jusqu’à 550 °C, ces cassettes garantissent durabilité et stabilité dans les paramètres d’automatisation. Profitez d’une fiabilité et d’une performance inégalées avec la série M3, établissant une nouvelle norme dans le traitement des semi-conducteurs.
Améliorez vos capacités de manipulation de plaquettes avec les cassettes métalliques de la série M4, conçues pour une manipulation précise de plaquettes plus grandes de 300 mm. Disponibles en variantes aluminium et en acier inoxydable, ces cassettes présentent un design conforme à la SEMI et des poignées ergonomiques pour un transport sécurisé. Profitez d’une efficacité et d’une précision accrues avec le WHS-M4.
