Manipulation du photomasque

Présentation de la série WHS-L

Excellente Manipulation du Photomasque

Présentation de la série WHS-L

En matière de précision et de soin dans la manipulation du photomasque, WHS est à la pointe avec la série WHS-L. Conçus pour répondre aux exigences exigeantes de l’industrie des semi-conducteurs, les modèles WHS-L1, WHS-L2 et WHS-L3 sont les outils ultimes pour manipuler des photomasques et réticules précieux. Ils minimisent le risque de contamination et préviennent les dégâts par décharge électrostatique (ESD) sur les couches critiques de chrome, garantissant que vos photomasques restent impeccables.

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Série WHS-L1
Standard Excellence

La série WHS-L1 est le choix privilégié pour la plupart des situations de manipulation de photomasques, offrant une prise en profil latéral garantissant une sécurité maximale. Cet outil standard ne vous place jamais directement au-dessus du masque, réduisant ainsi le risque de contamination. Son mécanisme d’ouverture et de fermeture est encapsulé et conçu pour un fonctionnement précis et une propreté, respectant les normes les plus élevées du secteur.

Série WHS-L2
Polyvalence spécialisée

La série WHS-L2 est conçue pour des applications spécialisées nécessitant un décalage horizontal. Cet outil est idéal lorsque l’accès au masque depuis le profil latéral n’est pas envisageable, offrant une flexibilité pour répondre aux besoins de manipulation spécifiques. Sa conception permet de placer des masques dans des supports spéciaux, des étapes d’outils de métrologie et des équipements de nettoyage de masques, ce qui en fait un excellent choix pour les applications où les outils standards ne conviennent pas.

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Série WHS-L3
Précision pour les masques EUV

La série WHS-L3 est spécifiquement conçue pour les masques à ultraviolet extrême (EUV). Avec quatre pinces à profil bas qui s’interfacent sans interruption, avec des pods de réticule EUV, le WHS-L3 assure une manipulation sûre et stable de ces masques avancés. Il est construit avec des matériaux de haute qualité, offrant durabilité, sécurité ESD et un design compact adapté à l’exploitation efficace des salles blanches.

 

Applications adaptées à la perfection

La série WHS-L excelle dans une variété d’applications critiques :

  • Transfert : Transférez les photomasques de manière sécurisée entre les boîtes de stockage et de production, les protégeant ainsi des dommages.
  • Inspection : Effectuez des inspections macro pour identifier les codes-barres, particules, défauts chromés, contamination ou dommages au châssis pellicule.
  • Aligneurs de masque : Outil de chargement et déchargement de l’outil d’alignement de masque photolithographique
  • Métrologie : Simplifiez le chargement et le déchargement pour les microscopes et autres outils de métrologie utilisés dans l’inspection des masques.
  • Nettoyage : Manipulez les photomasques lors des procédés de nettoyage localisé ou de nettoyage par immersion par solvant sans compromettre leur intégrité.
  • Boutiques de masques : Fiables dans la fabrication et la réparation de masques, nos outils garantissent une manipulation sûre et sécurisée.
     

Applications adaptées à la perfection

Chez WHS, nous privilégions la précision, la propreté et l’innovation dans la fabrication de semi-conducteurs. Nos outils de manipulation de photomasques incarnent ces principes, offrant une précision, une efficacité et un soin inégalés. Avec les séries WHS-L1, WHS-L2 et WHS-L3, vous pouvez révolutionner vos processus de manipulation de photomasques et porter votre production à un niveau supérieur. Votre parcours vers l’excellence dans la manipulation des photomasques commence ici.