Aligneurs de plaquettes

Déverrouiller la précision et l’efficacité dans la fabrication de semi-conducteurs

Répondre aux besoins des semi-conducteurs avec précision :

Le portefeuille d’aligneurs de plaquettes WHS-A

Wafer Handling Systems (WHS) présente le portefeuille d’aligneurs WHS-A, une gamme de produits méticuleusement conçus pour répondre aux exigences de haute précision de l’industrie des semi-conducteurs, notamment en termes d’alignement en vrac, plat et en encoche. Ces aligneurs, intégrés aux procédés semi-conducteurs, garantissent l’intégrité du lot, un alignement précis et l’inspection des bords, garantissant la production de semi-conducteurs de haute qualité dans les environnements de salle blanche

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Maintien de l’intégrité du lot

Un aspect crucial de la fabrication de semi-conducteurs est d’assurer l’intégrité des lots, de prévenir les erreurs et de maintenir une qualité de produit constante. Les aligneurs WHS facilitent cela en faisant tourner la plaquette, exposant ainsi son marquage d’identification sur le bord de la plaquette. Cela permet aux opérateurs de vérifier le bon lot de plaquettes, évitant ainsi d’éventuels problèmes plus tard sur la chaîne de production.

Technologie d’alignement haute précision

L’alignement est essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs, influençant les performances et la fonctionnalité du dispositif final à semi-conducteurs. Les aligneurs WHS, illustrés par les séries A1 et A3, permettent un alignement précis en vrac lors de processus critiques tels que la lithographie, le dépôt et la gravure. Ces aligneurs intègrent des encoches ou des plateaux qui s’alignent avec la structure cristalline du treillis des plaquettes, garantissant la bonne orientation et des résultats optimaux.

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Inspection des bords pour l’assurance qualité

L’inspection des bords est une étape indispensable pour identifier les défauts susceptibles de compromettre l’intégrité structurelle de la plaquette et potentiellement entraîner une casse ou une défaillance lors des traitements ultérieurs. Les aligneurs WHS permettent une inspection macro des bordures de plaquettes sous un éclairage spécialisé, permettant aux opérateurs de localiser précisément les éclats, fissures ou imperfections. Détecter et traiter ces problèmes à ce stade permet d’éviter des retards de production coûteux et des gaspillages.

Modèles d’aligneurs variés pour répondre à tous les besoins

WHS propose une gamme variée de modèles d’aligneurs pour répondre aux besoins variés des clients. Les séries A1 et A3, par exemple, sont des aligneurs automatiques adaptés aux plaquettes allant de 76 mm à 200 mm. Ces aligneurs sont équipés de positions d’arrêt programmables, d’écrans tactiles conviviaux et de la capacité de fonctionner sans interruption dans des environnements de salle blanche, tout en assurant une précision d’alignement avec une tolorance remarquable de +/- 1º

Les séries A2 et A4, en revanche, sont des aligneurs manuels de table affinés pour l’alignement en masse haut/bas selon différentes tailles de plaquettes dans des réglages de salle blanche. Ces aligneurs sont dotés d’une construction antistatique, d’un contrôle de sécurité ESD et d’ensembles de rouleaux à déconnexion rapide pour simplifier l’entretien et le nettoyage.

La série A6 complète l’offre, fournissant une solution exonomique pour des plaquettes de 76 mm, 100 mm et 150 mm.

 

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WHS : Priorité à la qualité et à la satisfaction client

WHS se distingue par son engagement envers la compatibilité des salles blanches, son ingénierie durable et sa vaste expertise sectoriel. Leurs aligneurs sont conçus avec soin avec des matériaux compatibles avec des salles blanches, garantissant à la fois longévité et performances de premier ordre. La fonctionnalité prime dans leur philosophie de conception, l’esthétique ne prenant en compte qu’après la perfection des outils. WHS s’efforce constamment d’améliorer ses produits en phase avec les technologies progressantes, aspirant à devenir la source privilégiée de solutions de traitement de substrats dans l’industrie des semi-conducteurs.