Applications
- Zone d’expédition/réception : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entrantes d’une cassette d’expédition à une cassette de production WIP.
- Zone épitaxiale : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entrantes d’une cassette d’expédition vers une cassette de production WIP ou de traitement EPI spécialisée.
- Zones de chimie humide : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entre une cassette de production WIP et une cassette en téflon PFA par voie humide lorsqu’elles entrent dans des zones de chimie humide.
- Zones de cuisson par processus thermique : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entre une cassette de production WIP et des cassettes en métal ou en quartz lorsqu’elles entrent dans les zones de processus de cuisson thermique.
- Zones de métrologie et d’inspection : Les transferts de plaquettes peuvent également avoir lieu dans les zones de métrologie et d’inspection où les plaquettes sont analysées et inspectées pour détecter les défauts et d’autres mesures de contrôle de la qualité.
- Sondes et zones d’essai : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes entrantes d’une cassette d’expédition vers une cassette de production WIP.
- Retournement/inversion de plaquettes : Les transferts de plaquettes sont utilisés pour déplacer les plaquettes d’une cassette à une autre qui a été inversée à 180°. Dans la fabrication de semi-conducteurs, il existe divers processus qui impliquent de travailler à l’arrière d’une plaquette. Ces processus peuvent inclure la lithographie arrière, la gravure, le dépôt et le collage, entre autres. Pour effectuer ces processus, le fabricant doit retourner la plaquette de manière à ce que l’arrière soit vers le haut.
La série WHS-T3 est un système manuel horizontal de précision de transfert de plaquettes en vrac conçu pour déplacer en toute sécurité les plaquettes entre deux cassettes SEMI-conformes.
Disponible en modèles standard pour les plaquettes de 76 mm, 100 mm, 150 mm et 200 mm, le WHS-T3 est compatible avec les cassettes de traitement en plastique à profil haut et bas, les cassettes métalliques et la plupart des cassettes d’expédition avec une H-BAR. Ce système assure des transferts de plaquettes fluides et efficaces dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs, y compris l’expédition/réception, l’épitaxie, la chimie humide et les zones de traitement thermique.
Le WHS-T3 est doté d’un système de glissière de précision sans entretien, construit avec des tiges revêtues avancées et des blocs de roulement UHMW, offrant un fonctionnement fiable et fluide. Fabriqué à partir de matériaux antistatiques, résistants à l’abrasion et aux produits chimiques, le WHS-T3 est compatible avec les salles blanches ISO 4 (FS209E Classe 10), assurant une protection optimale des plaquettes pendant les processus de manipulation et de transfert.
Pour une manipulation plus spécialisée des plaquettes, le WHS-T3 propose des modèles optionnels pour le retournement et l’inversion des plaquettes, disponibles pour les plaquettes de 150 mm et 200 mm. Ces modèles sont conçus avec une platine personnalisée pour accueillir les cassettes dans les orientations standard de la barre H vers le bas ou de la barre H inversée vers le haut, ce qui permet une inversion précise des plaquettes pendant le transfert.
Fabriquée dans une usine certifiée ISO9001 et certifiée CE, la série WHS-T3 offre une solution robuste et fiable pour les transferts manuels de plaquettes, garantissant la sécurité des plaquettes et la précision de manipulation dans divers processus de fabrication de semi-conducteurs.
