Raffiner
Catégorie
Choix de masque EUV
(1)
Pic de masque latéral
(1)
Pic de masque horizontal
(1)
Matériel
Polyoxyméthylène antistatique 
Taille du masque
14x14x0.187
5x5x0.090
6x6x0.120
6x6x0.250
7x7x0.120
7x7x0.150
9x9x0.120
Maintien de la poignée
Poignée latérale
Titulaire
Avec support
Manutention
Normalement fermé
Insert de préhension de matériau
Élastomère Viton
Désignation de salle blanche
ISO 3 (Classe 1 FS209E)

Pic de masque latéral

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Outil de manipulation de photomasque (WHS-L1)
WHS-L1
Pic de masque latéral
WHS
Outil de manipulation de photomasque (WHS-L1)
WHS-L1 Série MPS2 Un médiator mécanique normalement fermé (force constante) pour la manipulation de photomasques carrés de 5 » à 9 » du bord tangentiel au rouge
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7 Options :
Outil de manipulation de masque photo (WHS-L1) 14x14x0.187Outil de manipulation de masque photo (WHS-L1) 5x5x0.090Outil de manipulation de photomasque (WHS-L1) 6x6x0.120
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